臺式掃描電鏡由三大部分組合而成：超濾裝置，離子束操作系統及其成像操作系統。詳細了解臺式掃描電鏡的組合而成結構特征，有助于更為科學合理的使用掃描電鏡，因此增加掃描電鏡的使用期限及提升實際操作的精準度。
　　電子顯微鏡價格低，實際操作比較簡單，但主要是因為可見光波長的限定，其擴大倍數只可以做到1000倍前后;過去大中型掃描電子顯微鏡合理有效擴大倍數能夠做到數萬倍，有著大景深，是目前材料學、生物技術專業行業Z經常使用的表現技術手段之一，但其項目投資巨大，并且需要通過嚴格專業培訓的實際操作工作人員，使用不方便。
　　臺式掃描電鏡的作用
　　一、超濾裝置
　　臺式掃描電鏡超濾裝置關鍵包含機械泵和真空系統柱兩部分。機械泵柱是一個密閉的柱形器皿。
　　二、離子束操作系統
　　離子束操作系統由射線管和電磁透鏡兩一部分組合而成，關鍵用作造成一束力量遍布非常的窄的、電子能量確認的離子束主要用于掃描成像。
　　三、成像操作系統
　　電子通過多方面電磁透鏡整束后，打進試品上與試品相互影響，會造成次級線圈電子、背散射電子、俄歇電子及其x光線等多方面數據信號。因此臺式掃描電鏡需要不一樣的探測儀例如次級線圈電子探測器、x光線能譜分析儀等來區分這種數據信號以得到所需要的信息內容。