臺式掃描電鏡由三大部分組合而成：空氣壓縮操作系統，離子束操作系統及其三維成像操作系統。詳細了解臺式掃描電鏡的組合而成結構特征，更加有利于科學合理的使用掃描電鏡，因此增加掃描電鏡的使用期限及提升實際操作的準確度。
　　臺式掃描電鏡設計方案情況
　　伴隨著科技研究與工業化生產進入了納米技術各個領域，大家對顯微技術應用、顯微儀器設備的標準變得越來越高，需求也不斷增加。
　　光學顯微鏡價格低，實際操作比較簡單，但考慮到可見光波長的限制，其擴大倍率只可以做到1000倍前后;過去大中型掃描電子顯微鏡合理有效擴大倍率能夠做到數萬倍，有著大景深，是現階段材料物理、生物技術專業各個領域相對比較常用的特征方式的一種，但其項目投資較大，并且需要通過嚴格要求專業培訓的操作工作人員，使用不方便。

　　掃描電鏡的結構特征
　　臺式掃描電鏡空氣壓縮操作系統主要包括進口真空泵和真空環境兩部份。真空環境是一個密閉的柱形玻璃容器。進口真空泵適用于在真空環境柱內造成真空環境。
　　三維成像操作系統和離子束操作系統均內置在真空環境柱中。真空環境柱底端為密閉室，適用于置放樣品。之所以能夠要用真空環境，主要適用于以下兩點根本原因：離子束操作系統中的燈絲在一般大氣中會快速氧化而不起作用，因此除了在使用臺式掃描電鏡時需要用真空環境之外，平常還需要以純氮氣或稀有氣體充滿全部真空環境柱。