蔡司三坐標測量機在維護養護流程之中感覺以下幾個方面情況理應引起特別注意，這也是大家在應用蔡司三坐標測量機的流程之中的許多經驗和教導。
　　1、空氣壓力和質量
　　蔡司三坐標測量機一般是應用氣浮軸承，運作的小氣壓應是0.45兆帕斯卡。在工作上應維護氣壓在0.5-0.8兆帕斯卡相互之間，才可以確保它的良好運作。即使有時氣壓在0.45兆帕斯卡設備也可以運作，但應在意到X、Y、Z在運作流程之中氣壓會出現損害，那樣氣浮塊的間距小，若是氣浮塊中有粉塵或細微微粒，會使導軌刮傷，比較嚴重時干擾測量精度或生產制造成三軸運作卡死。
　　2、導軌的清洗和光柵的養護
　　導軌維護干凈，要求應用泡浸過干凈航空汽油或工業乙醇的脫脂棉或絲綢布來清洗;在裝、卸零部件時要特別留意，避免碰撞導軌。

　　光柵尺的養護直觀干擾讀值的精確度，Z軸光柵尺外露在外界環境中，而X和Y向光柵尺被外護蓋。因此要格外特別注意Z軸光柵尺，避免劃痕。應用泡過干凈航空汽油絲綢布來清洗，讓光柵尺干燥。
　　3、過濾器的清洗
　　要按時清洗過濾器，當察覺過濾器的濾芯出現變色，就得清洗。取下塑料杯、過濾網，用中性清潔劑（大家用四氯化碳溶液）清洗，再應用干凈的氣體吹干。從頭開始安上后，精確測量工作壓力，有必要就調整它。
　　4、電控系統的維護
　　電控系統是蔡司三坐標測量機的關鍵部位，應當算是較為穩定的，但不允許被忽略對它的檢測和維護。長期應用，許多接口、插片有可能脫落。有一次大家察覺，在開機以后，坐標軸“Home”時犯錯誤警報，清查察覺原來是接口脫落生產制造成的。